MEMS

MEMS

MEMSミラー

光スキャナー用MEMSミラー

mems_mirror

製品名

光スキャナー用MEMSミラー

概要

MEMS(※)技術を使った小型の光スキャナ用ミラーです。2次元に光をスキャンできますので、ディスプレイや計測など幅広くご活用いただけます。

※Micro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)の略でメムスと呼ばれています。電気と機械の機能を併せ持ったデバイスで、電気機能のみのLSIでは不可能だったことも可能にする魅力的な先端技術です。

基本仕様

ミラー径 φ1.1mm
水平共振周波数 30kHz
光学振れ角 水平±20deg, 垂直±8deg
駆動電圧 1.6V
消費電力 110mW

特徴

・電磁駆動方式
・2軸MEMSミラー
・水平:共振駆動、垂直:非共振駆動(ラスタースキャン)
・広い光学振れ角
・長寿命/高信頼性
・低電圧駆動/低消費電力
・平坦なミラー面

主な用途

・HUD(ヘッドアップディスプレイ)
・ピコプロジェクター
・HMD(ヘッドマウントディスプレイ)
・3Dプリンター
・3DLiDAR etc
 ~光スキャナー用ミラーとしてディスプレイから産業用途まで幅広くご活用いただけます~

開発状況

開発中