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MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systems の略です。
シリコン基板上に微細なパターンを作成し、センサ、アクチュエーターなどの機械部品と、電子回路を集積したデバイスです。
※"MTC"とはパイオニアマイクロテクノロジーの略称です。
現在、MEMS市場は急速に拡大しており、今後もその拡大は勢いを増していくことが予想されています。既に、MEMSの技術が使用された製品が私たちの日常に数多く溶け込んでおり、私たちの生活に欠かせない存在となりつつあります。
身近な製品の中でも特に、スマートフォンには多種多様なMEMSが使用されています。
現在、既に1台のスマートフォンに10種類程度のMEMSが使用されている例もありますが、
将来的には1台当たり20種類を超えるMEMS製品が搭載されると予想されています。
弊社では、これまで培ってきた半導体の製造技術を応用してMEMSの開発を行ってきました。そんな、弊社で生まれたMEMS達を紹介したいと思います。
ジャイロセンサは、別名角速度センサやジャイロスコープと呼ばれ、角速度を検出することができるデバイスです。MEMSの技術を用いることで小型化や大量生産が可能となり、近年ではカメラの手ぶれ補正機構やカーナビゲーション、スマートフォン、ゲーム機など多種多様な電子機器に用いられています。
弊社では2軸ジャイロの開発を主に行っていました。
MEMS型可変容量は、加えた電圧に応じてON/OFFするスイッチ動作により、容量を切り替えることができる素子を複数配置しています。よって、ON/OFFさせる素子の組み合わせで静電容量を段階的かつ高速に変化させることが可能となります。また、ダイオード型可変容量と比較して容量値の可変幅を大きく取ることができる利点もあります。
弊社においては特に、携帯端末のアンテナインピーダンス整合用の低損で、小型なMEMS型可変容量を実現する目的で開発が進められていました。
HUD(ハッド)とは「Head-Up Display(ヘッドアップディスプレイ)」の略称であり、人間の視野に直接的に情報を映し出す方法のことを言います。
弊社では特に、フロントガラスに運転者向けの基本的な情報(スピードメータやナビゲーション)を映し出すシステムに組み込むことを想定したMEMSミラーを開発しました。MEMSミラーはレーザ方式のHUDシステムにおいて実際に映像を投影するために必要不可欠な部品であり、システムの肝となる部品の1つです。
LiDAR(ライダー)とは「Light Detection and Ranging」の略称であり、光を使用したリモートセンシング技術の一つです。光のパルスを照射してそのパルスが戻ってくるまでの時間を測定することで、対象物までの距離を測定するシステムのことを言います。
MEMSミラーを用いることで小型・軽量化が可能となり、レベル3以上の自動運転の実用化に有利な部品と言えます。Pioneer製のLiDARセンサにも弊社のMEMSミラーが採用されています。